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西安工業(yè)大學(xué)光電超凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)招標(biāo)公告
來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2012-08-03 點(diǎn)擊:

一、   項(xiàng)目?jī)?nèi)容

西安工業(yè)大學(xué)光電超凈實(shí)驗(yàn)室(包含:器件超凈實(shí)驗(yàn)室和薄膜超凈實(shí)驗(yàn)室)凈化工程及設(shè)備一、二次配管工程的設(shè)計(jì)。

二、    項(xiàng)目施工地點(diǎn)

工科組團(tuán)光電附屬樓(1A)一層整層和光電樓(1B)一層?xùn)|頭。

三、    項(xiàng)目施工環(huán)境

工科組團(tuán)光電附屬樓(1A)一層建筑面積約800平米,凈化面積600平米,其空調(diào)機(jī)組及其室外機(jī)組、純水站、空壓站、真空站、冷卻水機(jī)組等動(dòng)力間(約100平米,需搭建)放置在該樓北側(cè)。

工科組團(tuán)光電樓(1B)一層?xùn)|頭部分建筑面積約300平米,凈化面積250平米,其空調(diào)機(jī)組等動(dòng)力間(已有房間)置于樓內(nèi)。

四、    投標(biāo)人資質(zhì)要求

1、投標(biāo)人必須具有中華人民共和國(guó)工商行政管理部門(mén)頒發(fā)的企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照,要求具有工程設(shè)計(jì)綜合甲級(jí)資質(zhì)或者電子相關(guān)行業(yè)乙級(jí)及以上設(shè)計(jì)資質(zhì),要求具有微電子、半導(dǎo)體等行業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)。

2、擬派項(xiàng)目經(jīng)理須具有國(guó)家一級(jí)注冊(cè)建筑師執(zhí)業(yè)資格,或具有高級(jí)技術(shù)職稱(chēng)、規(guī)模相當(dāng)?shù)耐?lèi)項(xiàng)目設(shè)計(jì)經(jīng)歷和業(yè)績(jī);

3、參加設(shè)計(jì)的專(zhuān)業(yè)負(fù)責(zé)人(建筑、工藝、電氣、給排水、暖通、動(dòng)力、概算等)必須具有類(lèi)似微電子、半導(dǎo)體潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)。

 

五、項(xiàng)目參數(shù)要求

光電附屬樓(1A)一層要求設(shè)計(jì)整體千級(jí)、局部百級(jí)的恒溫恒濕超凈實(shí)驗(yàn)室,溫度要求20±2,濕度要求50%±10RH。在全負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)條件下,工作區(qū)域噪聲應(yīng)低于60dB。光電樓(1B)一層?xùn)|頭要求設(shè)計(jì)為整體萬(wàn)級(jí)潔凈環(huán)境。

六、項(xiàng)目具體要求

    1、光電附屬樓一層建議采用恒溫恒濕空調(diào)機(jī)組,機(jī)組應(yīng)配有混合段、初效段、表冷段、加熱段、加濕段、風(fēng)機(jī)段、中效段、送風(fēng)段,并根據(jù)環(huán)境和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備情況計(jì)算空調(diào)的風(fēng)量、冷量、電加熱功率、加濕量等參數(shù)。

2、通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采用至少四級(jí)過(guò)濾裝置,建議分別在機(jī)組新風(fēng)口、空調(diào)機(jī)混風(fēng)口、空調(diào)機(jī)送風(fēng)口、高效終端。

3、超凈室內(nèi)頂部建議采用龍骨、FFUFan Filter Unit)、同尺寸盲板組合的結(jié)構(gòu),要求可對(duì)FFU進(jìn)行小范圍調(diào)整,以保證設(shè)備及工作區(qū)域位于FFU的下方。

4、超凈室墻壁的設(shè)計(jì)要求采用凈化專(zhuān)用50mm厚巖棉夾心彩鋼板,要求采用手工彩鋼板加中字鋁的固定方式。

5、器件超凈實(shí)驗(yàn)室要求采用孔板高架地板、標(biāo)準(zhǔn)垂直層流的方式。大型設(shè)備可做混凝土底座,其上表面與架空地板等高,并且底座表面用環(huán)氧樹(shù)脂等無(wú)塵材料進(jìn)行凈化處理。

6、冷卻水、真空、壓縮空氣、純水主管道的設(shè)計(jì)要求距大多數(shù)設(shè)備是最近的,并預(yù)留一定數(shù)量的三通接口,增加設(shè)備時(shí)方便從三通處進(jìn)行分支。

7、為節(jié)省頂部空氣靜壓箱的空間,主送、回風(fēng)管道可以走潔凈區(qū)域以外的灰區(qū)和參觀(guān)走廊頂部。

8、設(shè)計(jì)中FFU的規(guī)格建議采用1200×600mm),非實(shí)驗(yàn)時(shí)段可將相鄰的兩臺(tái)FFU關(guān)掉一臺(tái),使超凈實(shí)驗(yàn)室處于“待機(jī)”狀態(tài),以節(jié)能減耗。

9、器件超凈室需在潔凈室北面空地(光電附樓1A樓北側(cè))上的冷水機(jī)房南側(cè)設(shè)計(jì)面積約100平米的動(dòng)力間,包含恒溫恒濕空調(diào)機(jī)組、空壓站、真空站、純水站、冷卻水站。要求動(dòng)力間頂部承重,放置空調(diào)的室外機(jī)組。

10、該實(shí)驗(yàn)室中的2臺(tái)PECVD和1臺(tái)MOCVD工藝氣體包含易燃易爆劇毒氣體,其特氣柜、尾氣處理區(qū)域應(yīng)單獨(dú)隔出,設(shè)計(jì)成負(fù)壓,并設(shè)計(jì)有氣體泄露報(bào)警系統(tǒng)。

11、附件提供設(shè)備清單及土建圖紙,其它未盡事宜可當(dāng)面咨詢(xún)。

七、時(shí)間要求

發(fā)標(biāo)時(shí)間:201283日下午14:00起。

投標(biāo)截止時(shí)間:2012813日中午12:00止。

開(kāi)標(biāo)時(shí)間:2012814日中午12:00

設(shè)計(jì)周期:2012815日起2012920止。

八、聯(lián)系人:

技術(shù)咨詢(xún)聯(lián)系人:劉老師  電話(huà): 13572876003