項(xiàng)目

技術(shù)規(guī)格

名稱(chēng)

紫外臭氧清洗系統(tǒng)

清洗原理

通過(guò)紫外線(xiàn)（185nm和254nm）和臭氧清洗基材表面，能夠簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)，快速獲得超潔凈表面。能去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗幾分鐘就可獲得超潔凈的表面，且無(wú)任何損傷。

定時(shí)器

15、30、60、120分鐘

電壓

220VAC

燈管

8"X8"石英格柵燈管，帶反射罩低壓汞燈，有效清洗面積8"X8"

樣品高度

可調(diào)節(jié)樣品臺(tái)和燈管的距離，最大距離4”

樣品放置

清洗腔上蓋向上打開(kāi)，露出樣品臺(tái)，可以自由放置

安全

當(dāng)清洗腔上蓋打開(kāi)時(shí)，內(nèi)部安全鎖自動(dòng)關(guān)閉燈管

氣體接口

兩個(gè)氣體接口

保修

質(zhì)保一年（不含燈管）

交貨時(shí)限

簽訂合同一周內(nèi)交貨